“十四五”期间
我国涌现出大批
原创性、引领性科技成果
科技日报重磅推出
我最心动的
“十四五”硬核成果征集展示活动
一起来看↓↓↓
半导体等精密元器件生产
离不开高度洁净的生产环境
对环境中气体的要求
更是达到了分子级别
然而
能够有效吸附
气态分子污染物（AMC）的高端滤材
曾存在国产化水平较低的问题
作为北京理工大学平台孵化的
国家级高新技术企业
理工清科（北京）科技有限公司
摩孚净化科技（北京）有限公司
聚焦金属有机框架材料
（MOF）的研发与应用
为先进制程的半导体工艺提供滤除方案
利用MOF材料的结构可调控
功能可设计、高比表面积等特性
解决了相关高端滤材
被国外“卡脖子”的风险
该技术完全自主可控
填补了国内高端净化材料空白
2024年
基于MOF的气态分子污染物
过滤材料及产品
在国内首次实现了量产化
目前已经实现年产量数百吨
广泛应用于半导体、液晶面板、制药等
高端洁净厂房以及特种防护领域
实现对气态分子污染物的高效控制
如此硬核的
基于MOF的气态分子污染物
过滤材料及产品
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来源：科技日报
供图：摩孚净化科技（北京）有限公司
文案：科技日报记者 孙明源 华凌 综合整理
海报：杨凯
编辑：王程玥
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