半导体巨头EUV光刻机数量曝光:台积电唯一过百 日本2nm公司醒目

半导体巨头EUV光刻机数量曝光:台积电唯一过百 日本2nm公司醒目
2025年09月29日 20:50 快科技

快科技9月29日消息,半导体工艺越先进,对光刻机的需求就越高,5nm以下量产更少不了EUV光刻机,目前全球只有ASML公司能供应,台积电、三星、Intel等公司都会向他们下降。

那么这些巨头中谁拥有的EUV光刻机最多呢?调研机构BOFA公布了2021到2025年为止的EUV光刻机数量,如下所示:

作为全球最大同时先进工艺量产最多的晶圆代工厂,台积电这几年来购买的EUV光刻机数量是最多的,除了24年只有10台之外,平均每年都在25台左右,累积下来已经超过107台,是唯一一家数量过百的。

三星从7nm时代就号称首发量产EUV工艺,所以购买量也不低,除了今年只有3台,以往每年在10-15台,累积下来55台,位列第二。

三星不仅在逻辑工艺上使用EUV光刻机,内存芯片上也逐渐用上EUV光刻机,这也是关键因素。

SK海力士之前三年订购的EUV都很少,这两年爆发了一波,总计有26台。

Intel公司之前对EUV不慎积极,但在Intel 4工艺之后也开始应用EUV光刻工艺,前任CEO基辛格搞的IDM 2.0甚至加大了对下一代High NA EUV光刻机的购买,全球第一个下单出货,但现在的陈立武叫停了不少工厂建设,今年EUV采购量还是0。

累积下来这几年购买了25台EUV光刻机,比SK海力士还少1台。

美光公司因为主要生产内存和闪存芯片,而且对之前也用不到EUV工艺,今年才买了5台,总量就是这么多了。

这里面还有一家公司值得注意,那就是日本Rapidus,他们成立才2年时间,但野心很大,目标是2027年量产2nm工艺,所以也早早下单了EUV光刻机用于研发,今年就展示过2nm工艺的晶圆,技术进展值得关注。

如果他们的目标实现了,未来Rapidus公司对EUV光刻机的需求量也不少。

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责任编辑:宪瑞

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