原标题:三星将于2023年量产光罩护膜,加速EUV工艺DRAM生产
《科创板日报》20日消息,熟悉三星内部计划的人士透露,三星电子将于2023年底开始量产光罩护膜(Pellicle),此举将加速其采用EUV工艺的DRAM生产进程。据THE ELEC报道,知情人士指出,三星极有可能使用ASML合作伙伴三井化学制造的光罩护膜。ASML在2019年宣布同意将EUV光罩护膜组装技术授权予日商三井化学,在未来持续与合作伙伴共同开发下一代光罩护膜。
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