无需美国许可,中芯国际向ASML发77亿大单!EUV光刻机仍被卡脖子

无需美国许可,中芯国际向ASML发77亿大单!EUV光刻机仍被卡脖子
2021年03月05日 17:35 金十数据

原标题:无需美国许可,中芯国际向ASML发77亿大单!EUV光刻机仍被卡脖子 来源:金十数据

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观察者网3月4日消息,中芯国际发布公告称,公司此前与荷兰半导体设备供应商阿斯麦尔(ASML)签订了一份价值约12亿美元(约合人民币77亿元)的购买协议,据经修订和重述的批量采购协议,两家公司已于2月1日重新签订协议,将期限延长至2021年12月31日。

据消息报道,在有关延长期限的公告中,中芯国际只简单将产品描述为一种“生产晶圆的产品”,但随后ASML在官网发布公告称,中芯国际采购的是深紫外线光刻机(DUV光刻机)。

无需美国许可?ASML:对华DUV光刻机出口不受限!

需要知道的是,被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”的光刻机,是整个芯片生产制造环节最核心的设备,但在全球范围内,单是日本的尼康、佳能和荷兰的ASML三家企业,便占据了光刻机市场90%以上的份额,其中最高级的极紫外线光刻机(EUV)更是只有ASML一家有,这便造成一个不争的事实——光刻机成为了我国实现芯片国产化的关键制约因素。

据悉,早在2018年初,中芯国际便向ASML订购了一台价值1.2亿美元的EUV光刻机,按照订购协议,ASML本应2019年完成交付、2020年完成安装,但由于种种因素影响,这台EUV光刻机至今仍处于“未出库”状态。

幸运的是,虽然EUV光刻机未能交付,但据阿斯麦全球副总裁兼中国区总裁沈波表示,公司对向中国出口集成电路光刻机始终持开放态度;ASML CFO Roger Dassen也曾表示,在某些情况下,对华出口光刻机是不需要许可证的,例如DUV光刻机。据悉,此次中芯国际采购的DUV光刻机已可用于生产7nm及以上制程芯片。

市场分析还指出,鉴于中国市场已成为ASML重要的收入来源,未来其也将努力争取向中芯国际出售EUV光刻机。据ASML发布的财报,2020全年,公司在中国的销售占比同比增加6%至18%;截至目前,中企已买下超过700台光刻机。

100%绕开美国!中企28nm光刻机有望交付

虽然DUV光刻机购买不受限,7nm及以上制程的芯片制造有了保障,但若想“更进一步”,仍需EUV光刻机。面对美国的阻拦,我国是否有突围方法?

首先是“自力更生”。早在2008年,“国家队”便开始攻关光刻机,还为此专门成立了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”(简称02专项)。经过多年努力,02专项也已在部分技术领域取得了丰硕成果,例如2017年由中国科学院旗下研究机构——长春光机所牵头研发的“极紫外光刻关键技术”通过验收;2018年,由中科院研制的“超分辨光刻装备”通过验收。

“国家队”交出了亮眼成绩单,企业也不落后。例如我国知名半导体设备制造商——上海微电子设备公司(SMEE)此前也宣布,公司采用国产以及日本零部件研发的28nm第二代深紫外(DUV)光刻机有望在2021年4季度实现交付。据了解,这台光刻机的生产及研发,100%绕开了美国的技术及设备。

除了“自立更生”外,寻求合作也是一条出路。据媒体报道,2020年10月,不少中资企业便计划向曾经的光刻机龙头企业——尼康、佳能两家日企共同出资,联手推进除EUV光刻机以外的新型光刻机的研发。总的来说,国产光刻机已加速崛起中。

文 | 李银苏 题 | 徐晓冰 图| 饶建宁 卢文祥 审 | 刘苏林

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