投资者提问:
尊敬的董秘,您好。纳米压印技术是否会减少对靶材的应用?谢谢。
董秘回答(江丰电子SZ300666):
您好!超高纯金属溅射靶材是制造芯片互连导线的关键材料,其基本原理是采用物理气相沉积(PVD)技术将超高纯金属原子沉积于晶圆表面形成薄膜,后续通过光刻、刻蚀等工艺形成芯片互连导线。感谢您的关注!
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