投资者提问:据中国仪器仪表行业协会报道贵公司聚焦国产仪器“卡脖子”技术拓展...

投资者提问:据中国仪器仪表行业协会报道贵公司聚焦国产仪器“卡脖子”技术拓展...
2023年09月18日 16:21 问董秘

投资者提问:

据中国仪器仪表行业协会报道贵公司聚焦国产仪器“卡脖子”技术拓展新赛道,为中国芯的全面崛起提供硬核科技,聚光科技和国产光刻机浸没式子系统厂商达成合作,能介绍一下吗

董秘回答(聚光科技SZ300203):

感谢您对公司的关注,公司基于质谱、光谱、色谱等高精密检测分析技术和各种进样技术,将半导体全产业链的精密检测分析作为切入点,与半导体领域内各主流单位合作,结合高纯试剂、湿电子化学品、高纯晶圆和高洁净车间的检测需求,以高度定制化、系统自动化为方向开发半导体行业专用的分析检测装备,为半导体全产业链的精密检测分析提供相关支撑。今年以来,EXPEC 7350三重四极杆电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)已在半导体上游供应商产生销售,在硅基和化合物半导体领域实现了销售和产品交付,并已陆续在国内主要芯片制造企业开展前期验证工作,逐步进入集成电路制造主要领域。基于电化学和NDIR技术的GDM系列特气报警仪产品已经获得芯片制造企业的认可,数千台特气报警仪产品已经被芯片和面板制造企业采购入厂开展国产替代,在未来将会有较大发展潜力。

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