投资者提问：
芯片产业是国家战略，但是公司的产品比较先进（5-7纳米），对于国产替代的低端（28纳米以下）进程是否受益不明显？反而北方华创这样的落后进程设备比较受益，也得到资本市场的追捧，市值高出公司很多，公司对于成熟进程和在产品的广度（除蚀刻机和LED）方面有何规划？
董秘回答(中微公司SH688012)：
您好，在逻辑集成电路制造环节，公司开发的高端等离子体刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到5纳米的芯片生产线上。2021年6月15日，公司推出首台用于8英寸晶圆加工的CCP刻蚀设备，丰富了公司现有的刻蚀设备产品线。 公司从三个维度扩展业务布局：深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会。在集成电路设备领域，公司将持续强化在刻蚀设备领域的竞争优势，并延伸到薄膜、检测等其他关键设备领域；公司计划扩展在泛半导体领域设备的应用，布局显示、MEMS、功率器件、太阳能领域的关键设备；公司拟探索其他新兴领域的机会，利用好设备及工艺技术，考虑从设备制造向器件大规模生产的机会，以及探索更多集成电路及泛半导体设备生产线相关环保设备及医疗健康智能设备等领域的市场机会。谢谢您的关注！
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