投资者提问:董秘您好,近日专利机构公示了公司在光刻机及基片光刻,光刻基片承...

投资者提问:董秘您好,近日专利机构公示了公司在光刻机及基片光刻,光刻基片承...
2020年08月01日 17:43 问董秘

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投资者提问:

董秘您好,近日专利机构公示了公司在光刻机及基片光刻,光刻基片承载台方面的专利,请问该项专利的主要用途是什么?

董秘回答(苏大维格SZ300331):

您好,公司在光刻机及基片光刻、光刻基片承载台方面布局的专利,主要用于在某些特定基片上进行图形光刻而进行的承载台设计。感谢您的关注!

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