投资者提问:董秘您好,想请问一下贵司已经研制出的光刻机中,目前分辨率最高是...

投资者提问:董秘您好,想请问一下贵司已经研制出的光刻机中,目前分辨率最高是...
2020年08月01日 17:29 问董秘

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投资者提问:

董秘您好,想请问一下贵司已经研制出的光刻机中,目前分辨率最高是多少?公司是否有进行研制更高精度的光刻机呢?

董秘回答(苏大维格SZ300331):

您好,公司最新研制的iGrapher3000直写光刻机,深度分辨率10纳米,横向数字分辨率100纳米。今后,公司将根据光电产业的发展需要,不断进行光刻技术和光刻设备的更新迭代。感谢您的关注!

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