投资者提问:
●硅烷CVD沉积炉 电子级多晶硅是主要的半导体电子材料,也是国防航空航天的基础材料,其后续产品广泛应用于电子信息领域。随着我国电子工业的迅速发展,特别是高科技领域的迅猛发展,我国对电子级多晶硅的需求日夜增加。浙江精功新材料所拥有的电子级多晶硅生产技术是利用高纯硅烷气在硅烷化学沉积炉(CVD)中发生热分解反应从而制得超高纯电子级多晶硅(11N)。请问公司有生产相关产品?
董秘回答(精功科技SZ002006):
尊敬的投资者,公司全资子公司浙江精功新材料技术有限公司拥有利用高纯硅烷气化学沉积法生产高纯多晶硅的整套工艺技术和沉积炉设备的研发能力,感谢您对精功科技的关注!
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