中银国际：中微公司（688012.SH）首台8英寸CCP刻蚀设备顺利付运，正式发布高性能Mini~LED量产用MOCVD设备，维持“买入”评级

中银国际发布研究报告称，中微公司（688012.SH）首台8英寸CCP刻蚀设备顺利付运，正式发布高性能Mini~LED量产用MOCVD设备。维持2021-23年公司净利润分别为4.6/6.6/8.4亿元的预测，维持“买入”评级。

中银国际指出，6月15日公司官方微信公众号称首台8英寸甚高频去耦合反应离子CCP刻蚀设备Primo AD-RIE 200顺利付运客户生产线。6月17日公司通过官方微信公众号推出专为高性能Mini-LED量产设计的Prismo UniMaxMOCVD设备，该设备帮助LED芯片制造商提高产能的同时能够有效地降低生产成本。

中银国际主要观点如下：

8英寸CCP刻蚀设备提供更高性价比的解决方案，进一步巩固公司的刻蚀地位。基于公司成熟的12英寸CCP刻蚀工艺和特性，8英寸的PrimoAD-RIE 200进一步提升创新技术和生产效率，可灵活配置多达三个双反应台的反应腔（即六个反应台），并提供可选升级至12英寸刻蚀设备系统的解决方案，灵活应对产线未来扩张的需求。公司的刻蚀设备产品矩阵逐步差异化，可满足不同客户的灵活需求，刻蚀地位有望继续提升。

高性能Mini-LED量产用MOCVD设备已获国内领先客户的订单，积极拥抱Mini-LED新浪潮。专为高产量设计的Prismo UniMax MOCVD设备搭配了众多创新，如多区温度补偿加热系统等，可满足Mini-LED生产所需的优异波长均匀性、重复性、产出稳定性等关键因素，是目前国内外极具创新性的MOCVD设备。在同一系统中可配备多达4个反应腔，通过最优化排布石墨盘晶片，其加工容量可延伸至164片4英寸或72片6英寸晶片的生长，且可通过超大直径石墨托盘降低生产成本。Mini-LED具有高亮度、精确动态响应、高对比度等优点，可运用于众多显示终端，未来成长空间可期，且备受市场关注。叠加Prismo系列已进入全球大多数领先氮化镓基蓝绿光LED制造商，创新产品的推出将有力带动公司在MOCVD领域内抢夺市场份额，继续提升竞争力。据公司官方微信公众号称，该产品已获得国内领先客户的订单，并正与更多客户沟通合作进行设备评估。

积极创新，研发成果商业化可期。公司在6月份共推出了两款创新产品且均持有客户订单，且ICP刻蚀年度交付量大幅增长，公司的研发成果正逐步得到市场认可并进入初步收获期。叠加日益成型的产品平台化，公司的成长属性将更丰富和扎实。

风险提示：行业景气度高导致设备零部件采购周期拉长；权益工具投资的公允价值变动风险。

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