格隆汇7月16日丨天准科技(688003.SH)在投资者关系活动上表示,公司明场检测设备第一款产品是TB1000,在2023年8月已经进入国内一家晶圆厂进行验证,这台设备覆盖的技术节点是65纳米到180纳米,可以满足65纳米以上技术节点的缺陷检测需求,兼容8寸和12寸晶圆;第二款是我们近期刚发布的一款新产品,产品型号叫TB1500,这款产品我们设计指标对标的技术节点是40纳米到55纳米,目前我们已经接受了国内一些大的晶圆厂的晶圆样品,从测试的结果看,是完全符合我们设计指标的要求,目前这款产品抓取的缺陷尺寸中,最小的缺陷可以达到30纳米到50纳米;第三款产品,是下一代的产品TB2000,对标28纳米技术节点,这款产品的核心零部件都已经开发完成,正在整机的系统集成中,预计今年年底会正式发布。
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