罗博特科取得等离子体工艺相关专利，调整等离子体工艺配方，降低光伏电池不良率

4月9日消息，国家知识产权局信息显示，罗博特科智能科技股份有限公司申请一项名为“等离子体增强化学气相沉积工艺的配方调整方法和装置”的专利，授权公告号CN121575383B，授权公告日为2026年4月3日。申请公布号为CN121575383A，申请号为CN202610110596.3，申请公布日期为2026年4月3日，申请日期为2026年1月27日，发明人戴军、张学强、管晓远，专利代理机构苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师白晨聪，分类号C23C16/50、C23C16/52。

专利摘要显示，本发明涉及光伏电池制备领域，具体提供了一种等离子体增强化学气相沉积工艺的配方调整方法和装置。该方法包括：获取等离子体增强化学气相沉积工艺机台在运行过程中的状态参数向量，并预测与其对应的预测膜层厚度；若预测膜层厚度不满足预设误差，选取状态参数向量中贡献度排名靠前的k个可调节因子作为目标调节因子；按照膜层厚度的梯度下降方向，在良品历史数据库中，查找与各个目标调节因子的状态参数的欧式距离最小的历史状态参数，作为当前配方参数；根据当前配方参数对应的状态参数向量重新生成预测膜层厚度，直至预测膜层厚度满足预设误差，将当前状态参数向量中的参数作为目标配方。本发明提供的技术方案，降低光伏电池片生产的不良率。

罗博特科成立于2011年4月14日，于2019年1月8日在深圳证券交易所上市。公司注册地址和办公地址均涉及江苏省，办公地还包括香港。它是国内领先的智能制造解决方案提供商，专注高端自动化装备及软件，技术实力强。

罗博特科主营业务为研制高端自动化装备和基于工业互联网技术的智能制造执行系统软件，所属申万行业为机械设备 - 自动化设备 - 其他自动化设备，涉及网络切片、光通信、CPO概念等板块。

2025年，罗博特科实现营业收入9.5亿元，在行业5家公司中排名第3，低于第一名北自科技的21.06亿元和第二名奥普特的12.69亿元，行业平均为9.96亿元，中位数是9.5亿元。其主营业务中，光电子及半导体封测设备营收4.39亿元，占比46.23%；光伏设备及整体解决方案营收4.33亿元，占比45.59%；其他业务营收7762.29万元，占比8.17%。净利润方面，2025年为 -6590.92万元，行业排名第4，远低于第一名奥普特的1.92亿元和第二名北自科技的1.72亿元，行业平均为2693.36万元，中位数是1.12亿元。

罗博特科智能科技股份有限公司近期专利情况如下：

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责任编辑：小浪快报