本报讯（通讯员陶诗岳 记者董晓勋）昨日12时05分，一架波音747-400F大型国际货运包机，从荷兰飞抵武汉天河机场，机舱中装运的是“巨无霸”高新技术装备——重达36吨、体积超过160立方米的大型扫描光刻机。

　　 据了解，这个设备是武汉新芯集成电路制造有限公司从荷兰购买的，它是该公司总投资35亿美元扩产的12英寸集成电路生产线核心设备。

　　 据武汉边检部门介绍，该设备主机就重达10吨，是用于集成电路生产超微细加工的精密光学机械设备, 其光学投影镜头及精密工作台，对运输过程中的震动和温度有非常严格的要求。

　　 波音747-400F货运包机抵达后，享受超贵宾级待遇和红地毯式的全程护送。恒温防震气垫车车队及精密移位操作团队，要与边检、海关、检验检疫部门合作进行机边验放的特殊操作，确保设备下机后迅速装运进厂。

　　 从机场到芯片厂公路运输过程中，为避免因刹车、避让引起震动和碰撞，车队将以每小时50公里匀速行驶。到达芯片厂后，再经过精细移位操作送入洁净厂房。