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据华海清科消息，近日，华海清科自主研发的国内首台510*515mm尺寸全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX成功获得先进封装领域重要客户订单，将按计划进入客户端产线投入量产应用。公司表示，该装备将成为国内首台进入产线的国产全自动板级CMP装备，为我国先进封装乃至半导体产业自主可控补齐关键一环。此次突破也是华海清科CMP装备技术从晶圆级向板级延伸的重要里程碑。