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光刻机概念股盘中反弹，蓝英装备涨近10%，张江高科、茂莱光学涨超5%，苏大维格、波长光电、京华激光、张江高科等跟涨。中信证券研报指出，目前，SSMB方案已完成理论证明，项目建设有望提上日程。若SSMB方案商业化进展顺利，我国将在光刻机领域取得重大突破并推动国内先进制程领域发展。