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晶瑞电材在互动平台表示，目前公司拥有成系列的光刻机五台。2022年7月5日，公司子公司苏州瑞红KrF光刻机及配套设备顺利搬入实验室，这将为公司KrF光刻胶的产品开发及生产品质管控提供有力保障。公司KrF光刻胶生产及测试线已经基本建成，设备正在安装调试中，争取今年批量供货。