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中信证券研报指出，展望2022年，在行业景气持续、国产替代深入背景下，半导体设备公司持续有基本面业绩支撑。建议优先选择赛道空间大、产品布局全面、技术实力较强的龙头设备厂商，以及份额尚低、受益国产替代有望快速成长的细分赛道成长型企业。晶圆厂工艺设备推荐北方华创、中微公司，建议关注盛美上海、屹唐股份、华海清科、拓荆科技、芯源微、至纯科技、精测电子等。测试设备/封装设备方面推荐华峰测控，建议关注长川科技、光力科技等。