武汉芯片厂4月投产试运营

　　首批身价数亿元生产设备今晨空运抵汉 全部设备调试31日结束

　　本报讯（记者 姚德春 通讯员 舒扬）今天凌晨3时55分，一架大型波音747国际货运包机停落在武汉天河机场，机舱中装运的是中芯国际武汉芯片厂12英寸芯片项目一期工程首批生产设备中货值最昂贵的大型扫描光刻机。伴随着它的悄悄来汉，标志着中芯国际武汉芯片厂离今年4月投产试运营又迈近了一步。

　　身价数亿的光刻机抵汉

　　一个不眠之夜，对中芯国际武汉新芯集成电路制造有限公司总裁刘丹平来说。

　　在刘丹平焦急的期盼中，今日凌晨3时55分，从荷兰飞抵武汉的波音747大型国际货运包机在天河机场降落。至此，武汉新芯集成电路制造有限公司，终于迎来该项目一期工程的首批生产设备大型扫描光刻机。

　　据刘丹平介绍，运抵的大型扫描光刻机，是项目一期工程中最为昂贵的设备，它在整体工艺流程中扮演至关重要的角色。此生产设备价值数亿元，将被用于12英寸晶圆的制造，它的到来对中芯国际武汉芯片厂项目的进展，具有里程碑的意义。

　　这台光刻机总重量达34吨， 其中主机重达10吨，整个体积超过160立方米，共分23个温控集装箱进行运输。它是集成电路生产超微细加工工艺设备的首席代表，是非常精密的光学机械设备， 其光学投影镜头及精密工作台在运输过程中对震动及温度都有非常严格的要求。

　　为了确保运输的安全，光刻机一路上享受了超贵宾级待遇，不仅是专机护送，就是连登机下机也是红地毯式的全程相迎。

　　据介绍，这台光刻机在荷兰阿斯麦公司（ASML）总部出厂后，就被装进专用的集装箱，利用箱内自带的空调系统满足保温的要求，经恒温防震气垫车运输至荷兰阿姆斯特丹国际机场，搭乘长城航空大型747全货机，不远万里降落到天河机场。

　　下月在汉试投产

　　中芯国际武汉芯片厂自2006年6月28日正式开工建设以来，投资上百亿元的武汉新芯集成电路制造有限公司何时投产，备受人们关注。昨天，刘丹平给出了时间表：3月将对生产设备进行联合调试。4月，将投产试运营。

　　去年，中芯国际武汉芯片厂原计划作为主打产品的动态存储器(DRAM)，市场价格每况愈下，利润被一再摊薄。作为经营管理方中芯国际不得不决定调整战略：在汉投产后，将放弃动态储存器的生产，把重点转向毛利率较高的闪存存储器(flash)。

　　据了解，由于产品线更换，武汉芯片厂厂务系统自2007年11月起进行全面调整，以适应新的工艺制程对不同制程、操作分区和废水处理系统的要求。迄今，厂务工程核心系统（洁净室、化学品供应系统、消防与工安系统，工艺排气系统和废水处理排放系统等）均已基本调整完毕并达到设计要求。

　　武汉新芯集成电路制造有限公司总裁办副主任舒扬告诉记者，目前，中芯国际武汉芯片厂人员配置也在陆续到位，如今他们已经招募了600多名员工，其中绝大多数是武汉人。

　　中芯国际武汉芯片厂相关负责人透露，为尽快提高产能，随着一批批的设备陆续到汉，他们将采取“来一台，安装一台，调试一台”的快速联调操作方案。“到本月31日，第一条生产线的所有设备联调结束。为下一步投产试运营做好准备。”