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国内首台自主知识产权光刻机合肥问世http://www.sina.com.cn 2007年12月27日 02:10 第一财经日报
图片 国内首台自主知识产权光刻机合肥问世 12月25日，科研人员通过投影仪介绍国内首台自主知识产权光刻机。当日，国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机在合肥问世，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。 新华社图 欢迎订阅《第一财经日报》！ 订阅电话：010-58685866（北京），021-52132511（上海），020-83731031（广州） 各地邮局订阅电话：11185 邮发代号：3-21 新浪财经独家稿件声明：该作品（文字、图片、图表及音视频）特供新浪使用，未经授权，任何媒体和个人不得全部或部分转载。
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