汉虹精机填补上海半导体制造业空白

　　凌建平[2006-05-24]

　　上海半导体设备制造业跃上了一个新的台阶，日资菲洛泰克（ferrotec）上海汉虹精密机械有限公司日前竣工并正式投产。该公司在多个领域填补了我国精工制造的空白，达到国际一流的先进水平。据了解，半导体设备制造是我国“十一五”计划重点发展项目，此前我国专业半导体设备主要依赖进口，汉虹精机的投产填补了国内空白。自去年开始，汉虹 精机的6英寸单晶炉由半自动实现了全自动，今年将生产8英寸单晶炉，后年将有望生产12英寸单晶炉。在拥有知识产权的全自动8英寸单晶炉的基础上，还通过自主创新开展后续研发，目前正在进行EFG法晶体生长炉的调研。